气质联用（GCMS）
zyl3367898
第1楼2017/12/11
检查一下涡轮泵的泵油，更换泵油。或者泵油不够了。
PAEs
第2楼2017/12/12
漏气或者机械泵泵油不足
hujiangtao
第3楼2017/12/12
估计是分子涡轮泵有问题了
zwq1973
第4楼2017/12/12
分子涡轮泵停掉，你看看你的泵速有没有上倒100%，如果开机过程中泵速达不到100%，几分钟后它会停止开机的过程的，至于什么原因造成的，有可能有漏气的地方，开机时要压紧侧板，还有有可能是泵出问题了。一步步来检查吧。
荆棘鸟
第5楼2017/12/12
开机一会还会停一般是有大漏，侧板、放空阀等，检查一下就好。
symmacros
第6楼2017/12/12
请问机械泵运转吗？
雾非雾
第7楼2017/12/12
如果机械泵能启动，但分子涡轮泵不能正常启动，首先确定是不是存在明显的漏气，如果达不到一定的真空度，分子涡轮泵不会启动。如果并不漏气，感觉有可能分子涡轮泵坏了。
feiniao
第8楼2017/12/13
我们最近就遇到涡流泵故障，运转起来到20%左右，就往下掉，刚还以为是泵坏了，最后排查出来是风扇坏了。
forth
第9楼2017/12/18
可能是有漏气吧
百万个为什么
第10楼2017/12/19
漏气 或者涡轮泵坏了
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