分子泵功能介绍

(1)动量传输作用：碰撞于表面的分子离开表面时,获得与表面速率相近的切向速率。利用高速旋转的动轮叶将动量穿给气体分子,使气体产生定向流动而抽气。

(2)气体分子经过第一动轮叶作用後,除了少数未与叶片碰撞而直接飞过去以外,大部份与动轮叶碰撞并获得近乎动轮叶的切向速率…然後接下来进入静轮叶,因为两者有相对速率,就能发生碰撞并有向下飞行的运动分量。

￠分子泵的优缺点

￠优点:

(1)无油蒸气的污染,能获得清洁的高真空

(2)启动快,激活快。

(3)涡轮分子泵多占空间小,安装方向不受限制(油润滑轴承除外),可用于安装位置受限制的地方。

(4)气体输送能力强,适用于气体负荷高的工艺过程,如溅射,蚀刻等。

(5)入口压力范围可在10x-1～10x-3Torr之间运行,在这个压力范围内,离子泵不能应用,对于低温泵需要节流抽速或经常再生,对扩散泵的工作也会变得不稳定

￠缺点:

(1)价格高

(2)对颗粒物或沉积物敏感

(3)有的泵耐大气冲击能力不足,叶片会因共振弯曲相碰而损坏。

目前我在一家分子泵维修保养的公司担任销售的工作,欢迎进行分子泵的交流和讨论,如果有需求也可站内私信我...