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大家是否有分析高纯NF3的较好方法？

leo_one

2018/02/09

气相色谱（GC）

大家好！
目前半导体电子气行业发展较快，电子气种类基本三年一个周期，目前主流电子气产品为NF3。
大家是否有分析6N9以上纯度NF3的较好方法？

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zyl3367898

第1楼2018/02/10

应助达人

没有这个国标方法吗？

0

leo_one

第2楼2018/02/11

目前好像没有一个完美的解决方案。
zyl3367898(zyl3367898) 发表:没有这个国标方法吗？

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dreamheaven

第3楼2018/02/11

相对于电子级的99.996%，关键的杂质是哪个？

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安平

第4楼2018/02/11

应助达人

需要特殊检测器

0

leo_one

第5楼2018/02/11

CF4比较关键，也是比较难测出来的。
dreamheaven(dreamheaven) 发表:相对于电子级的99.996%，关键的杂质是哪个？

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leo_one

第6楼2018/02/11

主要还是在分析方法。如果采用一台仪器测试，色谱柱的分离不能兼顾所有要求。 NF3生产厂只能在质量检测的时候，舍弃某些组分不测。
安平(byron1111) 发表:需要特殊检测器

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dreamheaven

第7楼2018/02/11

没实际做过啊，NF3干扰甲烷和CF4很严重？
leo_one(Ins_ef540142) 发表: CF4比较关键，也是比较难测出来的。

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leo_one

第8楼2018/02/11

一般要求检测O2 N2 CF4 CO CO2 N2O SF6
dreamheaven(dreamheaven) 发表:相对于电子级的99.996%，关键的杂质是哪个？

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dreamheaven

第9楼2018/02/11

NF3在HayeSep/PoraPak 上的出峰相对位置在哪里，仪器的气路图配置是什么？
leo_one(Ins_ef540142) 发表: 一般要求检测O2 N2 CF4 CO CO2 N2O SF6

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leo_one

第10楼2018/02/11

目前还没有十分合理的，成熟阀路配置。几个仪器厂商的分析方案都各有优缺点。
dreamheaven(dreamheaven) 发表: NF3在HayeSep/PoraPak 上的出峰相对位置在哪里，仪器的气路图配置是什么？

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