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信息分辨率测试方法

TOMCRUSE

2018/05/14

透射电镜（TEM）

请教各位专家，
测定信息分辨率时，（样品为多晶gold）
在曝光过程中shift image X or Y 0.02um，FFT图像会出现干涉条纹，干涉条纹穿过某个rim就说明达到该rim所代表的信息分辨率。
请问这样的测试方法的原理是什么，另外有其它的测定方法不？
以上，谢谢！

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洪星二锅头

第1楼2018/05/16

你这个是用底片的信息分辨率测量方法？
现在有CCD就比较方便了，用多晶Au，如果衍射谱衬度所能出现的一个值
从图片看更加直观，信息分辨率不随聚焦发生变化的，可以参考http://www.globalsino.com/EM/page4156.html

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TOMCRUSE

第2楼2018/05/16

洪星二锅头(coime) 发表:你这个是用底片的信息分辨率测量方法？
现在有CCD就比较方便了，用多晶Au，如果衍射谱衬度所能出现的一个值
从图片看更加直观，信息分辨率不随聚焦发生变化的，可以参考http://www.globalsino.com/EM/page4156.html

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小偷爸爸

第3楼2018/05/16

洪星二锅头(coime) 发表:你这个是用底片的信息分辨率测量方法？
现在有CCD就比较方便了，用多晶Au，如果衍射谱衬度所能出现的一个值
从图片看更加直观，信息分辨率不随聚焦发生变化的，可以参考http://www.globalsino.com/EM/page4156.html

我想问下，信息分辨率这个指标是评价什么的？这方面不清楚，烦请告知。

0

洪星二锅头

第4楼2018/05/21

信息分辨率就是图片中的蓝色曲线，是物镜的包络函数，受限于物镜球差和色差，当它等于零表示所能解析程度，也就是物镜的一种极限值，理论上是希望Scherzer 欠焦与该点越近越好
上几幅图更能说明问题

小偷爸爸(v3050889) 发表:

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