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5000X以上不清晰问题

  • 青春美丽小可爱
    2018/08/13
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 仪器用的是FEI的QUANTA扫描电镜,配的有两个能谱仪,合起来叫MLA650,主要做矿物分析,12年装的仪器,我是刚毕业的研究生接手的,所以没有工程师作专门的培训,去了别的单位简单学习了一下,我刚来有人送的银粉说要看粒径和形貌,我用导电胶粘上之后在5000X就看不清了,对不准焦,然后我用制过的样(表面抛光喷碳过的)试了一一还是一样的,我查了资料说调像散,但是我感觉作用不是很明显。加速电压25KV,emission current40μA,bias23,束斑6.8,各位可以交流一下。
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  • Dirk2017

    第1楼2018/08/13

    应助达人

    粉的粒径多大呢?一般形貌放大到1000x就行了。你这电压有点高哦,建议用5kv试试。

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  • 牛牛0322

    第2楼2018/08/13

    FEI扫描和电压,电流,束斑直径,样品高度,对比度亮度,调焦,像散有关。你可以不同试试。你那个电压可以低点,一般5-15KV,束斑3.5

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  • 青春美丽小可爱

    第3楼2018/08/14

    好,我试试,因为我们一般做MLA(矿物参数分析)的时候是25KV电压,所以就没动过

    Dirk2017(Ins_b5a67526) 发表:粉的粒径多大呢?一般形貌放大到1000x就行了。你这电压有点高哦,建议用5kv试试。

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  • 青春美丽小可爱

    第4楼2018/08/14

    这么复杂的么。。。我先降低电压试试

    牛牛0322(v3224499) 发表:FEI扫描和电压,电流,束斑直径,样品高度,对比度亮度,调焦,像散有关。你可以不同试试。你那个电压可以低点,一般5-15KV,束斑3.5

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  • 牛牛0322

    第5楼2018/08/14

    您先试着降低电压,如果还有问题,欢迎到论坛求助

    青春美丽小可爱(Ins_5f81f341) 发表: 这么复杂的么。。。我先降低电压试试

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  • 驰奔仪器

    第6楼2018/08/15

    MLA650 平时大多所用放大倍数也就几百倍,要求采集速度非常高, 设置的条件可应该是尽可能的大束斑和大光阑。
    从分析模式到高分辨模式,
    楼主需要大范围改变工作条件,然后再重新校准。

    至于加速电压,影响倒是其次,5和25KV 实际分辨率也就差一倍,选一个15kv折中。
    (MLA650电镜平台应该是钨灯丝扫描电镜,宣传都是3nm@30KV, 7-8nm@3KV)

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  • 青春美丽小可爱

    第7楼2018/08/15

    是的,因为我之前去一个单位学习的时候他们就在mla工作条件下用扫描电镜放大10000倍以上也挺清楚,所以在想是不是仪器哪一个部分出了问题,降低加速电压确实还是有效果的。您说的那些工作条件具体都是指哪些呢?

    驰奔仪器(SH103843) 发表:MLA650 平时大多所用放大倍数也就几百倍,要求采集速度非常高, 设置的条件可应该是尽可能的大束斑和大光阑。从分析模式到高分辨模式,楼主需要大范围改变工作条件,然后再重新校准。至于加速电压,影响倒是其次,5和25KV 实际分辨率也就差一倍,选一个15kv折中。(MLA650电镜平台应该是钨灯丝扫描电镜,宣传都是3nm@30KV, 7-8nm@3KV)

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  • 青春美丽小可爱

    第8楼2018/08/20

    还有我的束斑怎么感觉被挡住了一部分

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  • fengyonghe

    第9楼2018/08/22

    上面说的已经很全面了,最后这张图说明还必须调整灯丝的“倾斜”和“平移”才能获得清晰图像

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