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场发射中的lens到底怎么工作的?

透射电镜(TEM)

  • 场发射中的lens到底怎么工作的?测能谱时需要打开lens,但是不太明白原理,是指打开lens透镜聚焦电子束吗?
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  • Dirk2017

    第1楼2018/08/15

    应助达人

    是把电子枪的束斑逐渐缩小,从原来直径约为50μm的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。一般有三个聚光镜,前两个透镜是强透镜,用来缩小电子束光斑尺寸;第三个聚光镜是弱透镜(习惯上称其为物镜),具有较长的焦距,它的功能是在样品室和透镜之间留有尽可能大的空间,以便装入各种信号探测器。在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。

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  • 牟晓明

    第2楼2018/08/15

    在请问您,高压和灯丝电流是怎么工作的?我看着场发射电镜高压一直升着,需要测试时才加电流,不太懂

    Dirk2017(Ins_b5a67526) 发表:是把电子枪的束斑逐渐缩小,从原来直径约为50μm的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。一般有三个聚光镜,前两个透镜是强透镜,用来缩小电子束光斑尺寸;第三个聚光镜是弱透镜(习惯上称其为物镜),具有较长的焦距,它的功能是在样品室和透镜之间留有尽可能大的空间,以便装入各种信号探测器。在该透镜下方放置样品可避免磁场对二次电子轨迹的干扰。

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  • Dirk2017

    第3楼2018/08/15

    应助达人

    独立控制的,一般表面形貌成像用低电压小束流,元素分析的时候需要大的信号量,就需要大束流了,所以一般冷场不能用来做分析

    牟晓明(Ins_46eba4fe) 发表:在请问您,高压和灯丝电流是怎么工作的?我看着场发射电镜高压一直升着,需要测试时才加电流,不太懂

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  • m3002960

    第4楼2018/08/30

    应助达人

    ????没听说过这种操作,不都是选小的spotsize把光聚起来就可以打EDS嘛!

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  • m3002960

    第5楼2018/08/30

    应助达人

    高压只是加速电压,就是说没加速电子下不来,可能速度不够跑没了!灯丝电流,是指电子腔发射电子的电流,场发射电镜,只要正常运行电子腔一直在发射电流,我们动的只是一个阀,控制电子束通过不通过

    牟晓明(Ins_46eba4fe) 发表:在请问您,高压和灯丝电流是怎么工作的?我看着场发射电镜高压一直升着,需要测试时才加电流,不太懂

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