扫描电镜进行3D形貌模拟

有几种方法：
1、二次电子探测，样品台倾斜，然后图像处理，得到3D
2、4或5像限背散射探测器，样品不用倾斜，得到3D
3、4个二次电子探测：（A B）-(C D)，得到3D
4、FIB一边切，一边扫描，得3D
5、加个AFM模块轻敲模式，得3D

是要测摩擦度？要求不高，第一、二种就可以

兄弟的说法深得我意啊，我想知道具体的计算原理

对于1样品太倾斜大概是这个原理，4和5AFM和FIB也是很容易理解的，可是对2和3不是很清楚，我们希望得出其一个轮廓，比如知道晶体表面的粗糙度或者刻蚀后的坡度角。

2、3的原理基本一样，电子束打下来，通过不同方向的探测成像，然后进行3D运算
这个主要看你要求，普通要求1、2、3就可以了；你要是要求非常精确也就只能AFM了

Insm_5225054a(Insm_5225054a) 发表:对于1样品太倾斜大概是这个原理，4和5AFM和FIB也是很容易理解的，可是对2和3不是很清楚，我们希望得出其一个轮廓，比如知道晶体表面的粗糙度或者刻蚀后的坡度角。