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【求助】请问:制样时怎么能保持薄膜样品断面平整?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 样品:基体厚度0.4-0.5mm,在上面丝网印刷一层10-20μm的氧化物层。
    想用SEM看一下断面两层的结合情况。但测试时断面不平不好聚焦,拍的照片也很模糊。
    请问各位大侠有什么好的办法?
    或者有其他原因?
    多谢!
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  • 最近不太烦

    第1楼2007/06/06

    包埋后,使用抛光机,Polisher

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  • dkdfcd

    第2楼2007/10/27

    调节金相显微镜试试

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  • moonbearpipi

    第3楼2007/10/27

    [quote]原文由 ferrate 发表:样品:基体厚度0.4-0.5mm,在上面丝网印刷一层10-20μm的氧化物层。
    想用SEM看一下断面两层的结合情况。但测试时断面不平不好聚焦,拍的照片也很模糊。
    请问各位大侠有什么好的办法?
    或者有其他原因?
    多谢!

    一般情况下,看断面显微结构时,先粗调一下,然后选择一个相对较平的区域作为视场来拍照。(虽然断面不平,那只是宏观上的,在SEM中分析的区域是微观的,还是很容易找到“平面”的)

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  • chenming_18

    第4楼2008/04/05

    最好没气泡,可以抛光

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