ICP-MS
tiger204
第1楼2019/04/10
除了你说的分子涡轮泵问题,接口部分也有可能是问题所在,锥孔过大或接口的地方密封度不够,进而导致了一下子进去二级真空的气体太多,超过了分子涡轮泵的负载
tuxlin
第2楼2019/04/10
点火时,隔离阀还没有打开,是不会漏真空的,等离子体稳定后才会打开隔离阀。如果是打开隔离阀后真空急剧下降,那可能是锥孔过大、安装不严密。
timstoicpms
第3楼2019/04/11
依次检查确认:采样锥装了没?采样锥背后的 石墨垫片是否还在?透镜组的三组螺母 是否拧紧?截取锥装了没?
dechuan
第4楼2019/06/15
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