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PIPS695清腔步骤总结

TOMCRUSE

2019/07/01
仪课通学员战队2

透射电镜（TEM）

PIPS695是Gatan新式的离子减薄仪，相比前一代产品，在低能量的减薄效率有较大的提高，增加载台X/Y移动，方便对截面样的定点减薄（需配置CCD）。离子减薄仪使用一段时间后，由于溅射产物的堆积，需对内部腔体进行清理，本文将对清理步骤做一个梳理，各位同行有补充建议的可以随时反馈（腔体清理需带无尘乳胶手套进行操作）。
1. 关闭分子泵和隔膜泵。先关分子泵，待转速为0时，关掉隔膜泵。

2. 松开机器背后的放气孔，对腔体破真空，此时背压显示为大气压状态。

3. 拔开真空计，对真空计处的密封圈涂抹真空脂，装回真空计，旋紧放气孔。

4. 清理法拉第杯。拔掉法拉第杯上的接线，拔出法拉第杯，将杯里的溅射产物倒扣出来，用胶布（特殊胶布）粘出吸附在杯壁上的溅射产物，左右法拉第杯均须清理。

5. 接下来是最重要的一步，清理离子枪（左右枪步骤一样）。将离子枪从腔体里拔出，松开固定座上固定螺丝，取出离子枪头部分。松开枪头固定螺丝，分为枪头电极部分和枪头外罩部分。

a. 清理枪头外罩部分。用胶布粘掉枪头的溅射粉末，胶布卷成柱状粘掉枪圆孔内黏附的溅射产物。

b. 清理枪头电极部分。将绿色密封圈取出，用真空脂涂抹均匀后装回原位置。用垂直磁铁柱的力掰下前端部分（无需用蛮力）。用最小号的内六角扳手松开后端两个固定螺丝，同时用手扶着，否则会有弹出的风险。将取下的顶针用1000目以上的砂纸进行磨光，顶针需水平方向研磨，不可垂直方向。用胶布粘掉后端表面的溅射产物。将后端部分装回，注意顶针方向。将前端部分倒扣并分出四部分，分别为阳极柱、阴极柱、绝缘柱、出孔光阑。用胶布粘掉阳极柱内壁及表面、出孔光阑表面、阴极柱内壁及表面的溅射产物，绝缘柱不用清理。清理完后将绝缘柱、阴极柱装回阳极柱内，注意阴极柱和绝缘柱的匹配方向，盖上出孔光阑。

c. 离子枪装回固定座上，按压装入时要注意将密封圈压入。用螺丝将电极部分固定好，两个电极连线应近乎平行于上面两个电极。

d. 将整个离子枪插入腔体相应的位置。旋转离子腔，如感觉不顺畅，可涂点真空脂。

6. 打开隔膜泵和分子泵，对腔体抽真空。

7. 切换手动气体模式，氩气流量设置3sccm进行吹气，一般吹一个晚上即可。

附件：

PIPS695清腔步骤.pdf

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m3033883

第1楼2019/07/01

应助达人

请问一般使用多长时间需要清洁啊？谢谢！

0

TOMCRUSE

第2楼2019/07/02

跟能量和使用频率有关吧厂家建议100小时以上 5kv的一般半年我觉得差不多
m3033883(m3033883) 发表:请问一般使用多长时间需要清洁啊？谢谢！

0

m3033883

第3楼2019/07/02

应助达人

好的。谢谢！
TOMCRUSE(v3303658) 发表:跟能量和使用频率有关吧厂家建议100小时以上 5kv的一般半年我觉得差不多

0

wccd

第4楼2019/07/03

应助达人

过程很详细，不错的维护步骤总结。

0

葛华龙_中科院金属所

第5楼2019/07/04

应助达人

如果天天用的话，可能个把月就要清洗一次
m3033883(m3033883) 发表:请问一般使用多长时间需要清洁啊？谢谢！

0

赛孚瑞化学试剂

第6楼2019/07/05

学习

0

葛华龙_中科院金属所

第7楼2019/07/09

应助达人

最后吹气是设置0.3的气流，因为最大也就是1了

0

TOMCRUSE

第8楼2019/07/09

嗯嗯是0.3sccm 多谢指正
葛华龙_中科院金属所(m3002960) 发表:最后吹气是设置0.3的气流，因为最大也就是1了

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