semoperator
第6楼2007/02/01
我已拜读您提到的帖子,可是还是没有找到一个明确的解释,我实际上是问扫描电境的成像原理,到底和光学成像有什么不同?
例如样品表面有A,B, C,D四个形貌不同的点,当二次电子从这些个地方激发出来后,它们是怎样的运动行为并最终成像的,是不是可以理解为二次电子是一个统计的概念,并不是所有的例如A点出来的二次电子都会被搜集起来并对应成像,而是绝大多数的A点出来的二次电子参与光电转换,最后成像的?
我最不理解的是为什么A点出来的二次电子最终能反应A点的形貌,而不是B点,或C点,总感觉电子激发出来后就混乱了,无论是从5-10nm或其它什么地方出来。 难道它们是遵循一定的路径运动的,那是什么让这些二次电子遵循了固定的运动轨迹,能量还是其它的什么?
确实很弱,建议参看ANASPEC每周一问二,电镜经典话题,形貌和成分的帖子。[/quote]
常怀千岁忧
第7楼2007/02/01
从理论上讲,当电子束扫描在A点时,探头接受到的二次电子全部来源于A点,而A点激发出的二次电子部分被探头接受,部分接地,这个过程依照电子的运动速度在极其短暂的时间内完成。因此,当电子束扫描到B点时,探头接收的是来自B点的信号,不会有A点的二次电子依然在四处游荡。让二次电子遵循某一方向运动的是加在二次电子探头前端的吸引电压。
有些辞不达意,希望已经表达清楚了,呵呵。
[quote]原文由 semoperator 发表:我已拜读您提到的帖子,可是还是没有找到一个明确的解释,我实际上是问扫描电境的成像原理,到底和光学成像有什么不同?
例如样品表面有A,B, C,D四个形貌不同的点,当二次电子从这些个地方激发出来后,它们是怎样的运动行为并最终成像的,是不是可以理解为二次电子是一个统计的概念,并不是所有的例如A点出来的二次电子都会被搜集起来并对应成像,而是绝大多数的A点出来的二次电子参与光电转换,最后成像的?
我最不理解的是为什么A点出来的二次电子最终能反应A点的形貌,而不是B点,或C点,总感觉电子激发出来后就混乱了,无论是从5-10nm或其它什么地方出来。 难道它们是遵循一定的路径运动的,那是什么让这些二次电子遵循了固定的运动轨迹,能量还是其它的什么?
共工
第8楼2007/02/02
[div][/div]
您其实讲的很清楚了,我同意您的观念。
二次电子检测器的电子收集是遵循时间轴的规律的,电子束的扫描循环时间,二次电子被激发的时间,光电转换的时间,光子传输的时间,以及电子信号被放大,最终被用来调制 模拟 阴极射线管 CRT的8KV 到12KV的扫描载频信号,完成了最终的成像,所以应该没有混乱的问题。
以上的模拟式的电镜成像,现代数字式的仍然遵循这个原理,EVERHART THORLEY 先生发明了 这个我们称之为二次电子检测器的 ET式光电检测器。
关于二次电子如何到达光电转换点的问题,我们在检测器的闪烁体部位施加正电压 到400V左右,激发静电场,以达到吸引二次电子的目的。