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【原创】EDS測試准確度？

guyuesz

2007/02/06

扫描电镜（SEM/EDS）

我是從事pcb行業的，用EDS主要測試表面的成分，不知是不是由于導電膠的作用測試時經常檢測到有碳，有時候是有機污染，有時候其實應該沒有？另外呢不同的EDS測試碳的情況差別也很大，例如美國的EDS測試和牛津的測試結果相差很大
P含量也是這樣的情況
我有以下疑問：
1.導電膠的影響是否存在，這個測試單位的工程師有爭議，我們認為存在
2.作為半定量檢測，可靠性怎么判斷？
3.請使用過的專家評定下EDS那里的比較好---使用和准確可信度

謝謝！

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第1楼2007/02/09

关于能谱分析中C元素的影响，这个早就有专门的帖子讨论过了
1.导电胶的影响要看样品的状况以及样品和导电胶的连接方式，如果样品达到一定的大小和厚度，导电胶的影响几乎可以忽略不计。
2.只能知道相对含量的多少，绝对含量一般在半定量情况下是不准确的。
3.EDS的好处很多，可以快速的给样品定性分析，使用方便，对样品要求不高，测试时间短，等等，准确可信度和具体操作人员，以及电镜的状态都有很大关系。在有标样的情况下，能谱的定量结果是相当不错的。欢迎讨论
guyuesz 发表:我是從事pcb行業的，用EDS主要測試表面的成分，不知是不是由于導電膠的作用測試時經常檢測到有碳，有時候是有機污染，有時候其實應該沒有？另外呢不同的EDS測試碳的情況差別也很大，例如美國的EDS測試和牛津的測試結果相差很大
P含量也是這樣的情況
我有以下疑問：
1.導電膠的影響是否存在，這個測試單位的工程師有爭議，我們認為存在
2.作為半定量檢測，可靠性怎么判斷？
3.請使用過的專家評定下EDS那里的比較好---使用和准確可信度

謝謝！

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