其实Amy-L 对粗糙样品喷金建议也是将就的办法,告诉你原理,只能自己试着做, 大概计算镀膜厚度.
好的解决方案还得靠设备提供的功能:
例如
溢鑫科创 独家代理的英国产的溅射仪,可以配置倾斜旋转样品台,
如果没钱采购进口的,我们国内伙伴可定制倾斜旋转的磁控溅射仪,价格经济。
rotary-tilting stage
tj601(tj601) 发表: 恩,参考了日立大神的帖子,Amy指出对于表面凹凸不平的样品喷金由一次30S可改成水平、倾斜各10S的方式进行喷金。那我这个是不是也是水平、倾斜喷金,各30S呢?