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扫描电镜求助

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 最近拍扫描电镜的时候遇两个问题,如下:
    第一,由于样品比较大,在拍低倍的情况下,背景显的很黑,不知道有没有办法解决;
    第二,样品的导电性不好,导致慢扫的时候很多条纹,没法只能快扫,就不太清楚,喷金时间是15 mA 90S ,请问有没有什么好办法呢;
    谢谢!

附件:

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  • fengyonghe

    第2楼2017/08/27

    要把照片发上来看看才行啊

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  • tj601

    第3楼2017/08/27

    附件就是啊,不能直接上传照片,我把它压缩了一下。

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  • 驰奔仪器

    第4楼2017/08/30

    明显的荷电效应,
    喷金参数没问题,样品粘好后,最好样品台倾斜喷金,
    请参考日立大神 Amy_luo 帖子
    http://bbs.instrument.com.cn/topic/4538548

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  • tj601

    第5楼2017/08/30

    恩,参考了日立大神的帖子,Amy指出对于表面凹凸不平的样品喷金由一次30S可改成水平、倾斜各10S的方式进行喷金。那我这个是不是也是水平、倾斜喷金,各30S呢?

    驰奔仪器(SH103843) 发表:明显的荷电效应,
    喷金参数没问题,样品粘好后,最好样品台倾斜喷金,
    请参考日立大神 Amy_luo 帖子
    http://bbs.instrument.com.cn/topic/4538548

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  • 驰奔仪器

    第6楼2017/08/31

    其实Amy-L 对粗糙样品喷金建议也是将就的办法,告诉你原理,只能自己试着做, 大概计算镀膜厚度.
    好的解决方案还得靠设备提供的功能:
    例如

    溢鑫科创 独家代理的英国产的溅射仪,可以配置倾斜旋转样品台,
    如果没钱采购进口的,我们国内伙伴可定制倾斜旋转的磁控溅射仪,价格经济。

    rotary-tilting stage

    tj601(tj601) 发表: 恩,参考了日立大神的帖子,Amy指出对于表面凹凸不平的样品喷金由一次30S可改成水平、倾斜各10S的方式进行喷金。那我这个是不是也是水平、倾斜喷金,各30S呢?

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  • fengyonghe

    第7楼2017/09/05

    低倍下适当调大束斑

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  • 番茄配土豆

    第8楼2017/09/08

    样品的表面凹凸不平,光束较小,调大光束试试

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