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电镜专题一电子信号产额

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2020/05/05

扫描电镜（SEM/EDS）

二次电子产额随样品倾斜程度的增加而增加；样品所谓的形貌衬度，其实就和二次电子产额的多少有直接关系，也即不同位置的倾斜角度的差异，这个倾斜角度是入射电子束与样品表面法线的角度。

而与一般理解不同的是，背散射电子的产额随样品倾斜，背散射电子的发射也相应的增加。（如下图）这表明背散射电子反射率对样品表面状态也比较敏感，比如起伏高低差异较大的地方。

所以综上，当入射束固定，除了由于样品表面凹凸不平导致信号产额的不同之外，还可以进行样品台的倾转来改变信号产额，从而获得大量的电子信号而拍出清晰的图像。

上述理解仅为自己学习过程中的一点理解，见识浅薄，有错误的地方恳请各位老师、版主、网友批评指正！

by小王子Gary

分
该帖子已被版主-小官人-闭关修炼中加50积分，加2经验;加分理由:分享有奖

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