气质联用(GCMS)
sdlzkw007
第1楼2020/07/26
油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
砂锅粥
第2楼2020/07/27
油扩散泵真空度应该也挺高的,网上资料显示大概是10-1~10-5Pa,估计正常应该有10-3左右,主要是抽速慢。单位有2台扫描电镜,一台是机械泵 油扩散泵,一台是机械泵 分子涡轮泵,两者从开始抽真空到真空度达标可以使用时间相差好几倍。
安平
第3楼2020/07/29
油扩散泵是不是存在有油污染的问题?真空度受油的蒸汽压限制,真空度不可能低于油蒸汽压。
symmacros
第4楼2020/07/29
油扩散泵会存在有油污染的问题。例如返油,有时候会出现462的离子。
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