STEM相关参数求解释！

应助达人

我的理解：扫描信号由外部环境提供。比如你自己搞一个信号发生器控制线圈。

应助达人

至于scan frame是512*512或者1024*1024，这个很好理解啊，是说整张图片按照多少个像素点进行扫描的意思，自然是像素点越密越清楚，对应的就是所获得图片的分辨率高低！至于扫描同步模式internal/external，应该是指同步的时候是参考外部信号还是内部信号，比如每一行扫描的时间和移动的位置是由外部信号触发（这是个人理解了，也可能不是那么回事，真实原理可能要专业搞研发的人才讲得明白了）！

Int/External是过滤STEM主频干扰用的

谢谢您的解释！

我之前听一个老师说过，STEM模式下电子束移动的距离越小，得到的图像细节越多（前提是电子束的probe也很小）。

如果两张图片用的都是同样的电子束移动距离，选择扫描的像素点不同，那最终得到的图像的面积应该是不同的，而两张图片的分辨率应该是一样的吧；如果两张图片扫描的样品面积是相同的，那在选择扫描的像素点时，像点多的话就意味着电子束移动的距离就小，这种情况下，像点多分辨率就高。

可以这样理解吗？

谢谢您的解答！但是不是很明白，可以详细解释下吗？

应助达人

可以这么理解，在同样的放大倍数下，肯定是扫的时候点的移动距离越短清晰（电子束也够小），每个点扫的时间越长越清晰（不考虑辐照损伤和漂移的前提下）不过探头本身也有限制，比如探头可能它只能扫2024*2024像素点！

应助达人

你说的同样的移动距离不同像素点扫描，得到的图片空间分辨率自然是一样的！