imrszl
第4楼2021/05/28
哈哈哈 但是龙哥你硬件没少拆吧?? 听师姐说你都能把镜子拆了后再装了 膜拜orz
imrszl
第5楼2021/05/28
也就是说 调STEM光的光路只要对着Ronchigram调节对吗? 想想好像也是这个道理,Ronchigram确实是对condenser lens的stig更加敏感的。而且obj stigmator是在样品下方,并不能对probe做任何修正,理论上是完全不会影响probe size的。
我猜rotation center(objective)是在STEM用物镜聚焦模式时用的调整方法(STEM的那个扩展tag上可以改聚焦模式),但我们平时为了获得更好的稳定性,一般都是固定obj lens pre-field(因为obj lens有极靴的存在,对线圈绕组的电流很敏感,而c2是弱lens则没有这个问题)的强度,仅调节c2 lens来改变聚焦状态的,所以应该只要用rotation center(intensity)合轴就可以了。
imrszl
第10楼2021/07/16
我的看法是rotation center控制的是 c2 lens和obj lens之间的线圈的deflect,也就是 beam tilt,使电子束进入obj lens的方向平行光轴,对应的应该是coma(B2/A2_1)。电子束是否在obj lens轴心应该是对应于C2 aperture的对中。调节了rotation center后图像确实有很大的改善,在我们非球差校正的镜子上已经能拍出原子像了。obj stig我也有尝试调过,但是实际效果好像并不大。我觉得stem模式下,看的既然是probe size,那就只要看Ronchigram就行了,因为Ronchigram才是对probe尺寸和形状最敏感的,所有的像差都可以在ronchigram上体现,没有必要太过关注样品下的光学系统。衍射斑点圆不圆其实对stem成像的分辨率不会造成太大的影响,因为haadf像采集的信号一般是散射角高于50mrad的非弹性散射电子的信号,受到投影系统的影响是系统的。(比如由于投影系统的相散,长轴方向是>57mrad,短轴方向是>52mrad)