气体检测
检测老菜鸟
第1楼2022/03/29
可以先检查下进气
Insm_f29e18eb
第2楼2022/05/24
要是进气压力确认正常的话,把托盘下面盖板打开,除尘管道那调节阀慢慢调小,慢慢试
纵
第3楼2022/09/22
保证进气压力正常稳定的情况下,调节坩埚托架下SMC阀组的压力,使环境里面动力气压力大概要在12到15psi之间,突然一下具体记不太清啦,好像是这个范围。
第4楼2022/09/22
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