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CS744报警气动安全压力通不过

气体检测

  • CS744报警气动安全压力通不过,是哪部分报警啊,经验不太足,英文说明书也看不懂啊
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  • 检测老菜鸟

    第1楼2022/03/29

    应助达人

    可以先检查下进气

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  • Insm_f29e18eb

    第2楼2022/05/24

    要是进气压力确认正常的话,把托盘下面盖板打开,除尘管道那调节阀慢慢调小,慢慢试

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  • 第3楼2022/09/22

    保证进气压力正常稳定的情况下,调节坩埚托架下SMC阀组的压力,使环境里面动力气压力大概要在12到15psi之间,突然一下具体记不太清啦,好像是这个范围。

    Insm_f29e18eb(Insm_f29e18eb) 发表:要是进气压力确认正常的话,把托盘下面盖板打开,除尘管道那调节阀慢慢调小,慢慢试

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  • 第4楼2022/09/22

    保证进气压力正常稳定的情况下,调节坩埚托架下SMC阀组的压力,使环境里面动力气压力大概要在12到15psi之间,突然一下具体记不太清啦,好像是这个范围。

    检测老菜鸟(v3295053) 发表:可以先检查下进气

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