扫描电镜（SEM/EDS）
沉舟
第1楼2006/12/05
刘老师，是机械泵？环境温度低吗？以前遇到过，把阿尔卡特的油换成较稀的国产油后就好了。
sunnysky
第2楼2006/12/05
彻底清洗机械泵后,再换新油就会好,还有可能真空系统在初始时渗漏过大所致
zemb
第3楼2006/12/05
感谢二位指教。有的泵是很新的，用的从工厂带来的油，室内基本恒温（20-25度），也是有这个现象，换了一个泵还是这样。
miao_zhuang
第4楼2006/12/06
启动是有时声音大应该是正常的，冒白烟就有点吓人了
fftao812
第5楼2007/04/16
如果该机有手动抽真空操作,可以设法关闭相应管道及阀门,再开泵抽真空,看看情况,这样可以判断是否是镜内泄漏过大或漏气情况.
第6楼2007/04/16
我们遇到过一台电镜,因一个阀门故障,RP泵处于抽大气状态,泵声音很大,"嘭嘭..."伴随有大量白烟.
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