昨天发现仪器自动停止序列，序列停止了， 但是离子色谱和采样器还是正常运行，然后重新运行此序列（失败），重启软件，新建序列又好了，但是过了几个小时在日志中出现了，Code 3: Possible worn vacuum pump diaphragm(s) resulting in higher PWM rate. Possible airflow path blockage. （代码3: 可能磨损的真空泵隔膜导致更高的 PWM 速率。可能的气流通道阻塞。），请问大家这个是什么问题，仪器是戴安IC离子色谱，之后出现了Module not in Running state.报警，问问大家是不是需要更换什么备件，仪器停放了2年了，现在开始运行1个月了
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