先说说冷阴极真空规的工作原理：
在冷阴极真空规中，电离是自持放电的一部分。然而，由于冷阴极真空规没有(热离子发射)灯丝，这个放电是由杂散场发射或外部事件(宇宙射线或放射性衰变)引发的。在低压下，这可能需要几分钟才能打开，冷阴极规通常在高压(1e-1Pa或更高)下打开。一旦启动，测量仪的磁场将电子限制在螺旋路径中，使它们具有较长的路径长度和较高的电离剩余气体的可能性。离子被收集和测量，以确定气体压力。
在冷阴极真空规中，不同几何形状的电极被使用，如圆柱体，板，环，棒，最终目的是为了最大限度地测量电流。如果压力表的中心或“末端”电极是负的，通常称之为磁控管。如果这个电极是正的，则称为倒置磁控管。
与热离子规不同，冷阴极规没有灯丝或栅极来脱气。而且，冷阴极规可以会被拆开，对电离室和规的内壁进行清洗维护。甚至经过培训的普通用户就可以清洗洗冷阴极计的内壁，以便清除“溅射”到内壁上的氧化层。因此比热离子规使用寿命更长。
由于冷阴极真空规在工作时处于一种持续放电状态，因此长期使用后，在阴极和阳极的表面会形成一层不导电氧化层，影响离子流的收集效率，从而造成真空值读数异常，比如显示“1×10-6Pa”等不符合常识的数值，特别是在较高气压条件下启动真空规，这种氧化更剧烈，将大大缩短真空规的有效使用时间，不过不用担心，冷阴极真空规经过清洗维护后可以恢复到正常的状态；下图是真空规管的主要部件；
以AIM-S真空规的清洗为例：
工具：卡簧钳；3M7447百洁布；去离子水；无水乙醇；十字头螺丝刀；一字螺丝刀；超声波清洗机；1000mL玻璃烧杯。
操作步骤：
1.拆卸和清洗
1）在质谱仪安全关机的前提下，将AIM-S真空规从质谱仪的真空腔体连接处拆下并置于水平宽敞的桌面上；
2）左手握住AIM-S真空规的中部，右手握住AIM-S真空规顶部的KF25接口部分，逆时针旋转大约30°使规管的卡针从锁定状态变成释放状态；
3）用手将规管沿着AIM-S真空规的顶部方向拉出（适当用力），使规管与主体部分分离开，并将两部分妥善放置于工作桌面上；
4）使用卡簧钳从规管上部（KF25一侧）将内部的孔用弹性挡圈拆下，并拿出阴极桶和离子挡板，并置于桌面上；
5）使用卡簧钳从规管下部伸入阳极压紧螺母（高分子材料）的卡位槽中，逆时针旋转拆下阳极压紧螺母，然后小心拿下规管阳极（不要触碰探针引线），由于橡胶密封圈的粘性，可能需要轻微发力撬动密封盘才能拿下规管阳极；
注意：不要直接拔或扳规管阳极的探针引线，以免损坏规管阳极的玻璃金属密封结构。
6）使用7447百洁布擦拭阳极的棒和圆盘的表面，同时擦拭阴极圆筒的内表面和离子挡板表面，至表面的氧化层基本去除，露出金属色即可;
7)置入放有无水乙醇的烧杯中超声清洗10分钟，换去离子水再次超声清洗10分钟，换干净的无水乙醇再次超声5分钟后，拿出放置于干净的烧杯中，在100℃的烘箱中烘烤30分钟后自然冷却；AIM-S真空规的阳极和阴极清洗完成；
9)清洗烘烤完成后，按照顺序组装真空规。
由于冷阴极真空规内部没有热灯丝等易损部件，所以非常皮实耐用，工作中遇到的绝大部分故障都是因为污染造成的读书异常问题，所以今后大家遇到类似的问题可以通过清洗维护来解决这个问题。
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