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涡轮分子泵运转时需要注意的问题2
lijing320323
2022/09/16
私聊
食品常规理化分析
2、压缩比
涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr(13.33 μPa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1×10- 10 Torr(13.33 nPa),由于氢是超高真空系统中主要的残余气体,所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。
?
涡轮分子泵对于大分子量的气体,如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的,一般高于1012。这个比值根据不同泵,以及不同分子量而不同,由于前级泵的不同和其它因素,涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr(13.33 mPa)~10- 6 Torr(133.3 μPa)之间,在这种条件下,在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍,即为10- 16 Torr(13.33 fPa)或更低。这样几乎是无限小的压力,已超出了可测量的范围,即使最灵敏的质谱仪也难以测出。
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