ICP光谱
sdlzkw007
第1楼2023/05/29
大概率是RF发生器故障，原厂维修基本都是整体更换。
123
第2楼2023/05/29
可能的原因包括点火控制模块故障，点火信号传感器故障，点火线圈（或RF线圈）故障
JOE HUI
第3楼2023/05/29
楼主具体什么型号ICpoes,RF故障报错信息是什么？一般无法点火RF故障可能原因很多，比如气源问题，如气体纯度不合适，管路漏气，还有检查RF高压电源开关和保险丝是否正常，其次RF功率管及RF电源是否异常。
hujiangtao
第4楼2023/05/30
先检查通风气流是否稳定达到点火要求
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