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金属氧化物XPS表征O1s的分峰问题，XPS是否能够表征氧空位

Ins_ec1447a0

2023/09/01

XPS及其它能谱仪

各位大佬好，我所制备的金属氧化物材料进行XPS表征，O1s的部分参考他人文献分了三个峰，分别为晶格氧、表面氧、氧空位。但是审稿人认为氧空位不能由XPS表征，并附上参考文献【https://doi.org/10.1016/j.susc.2021.121894】。但是在网上搜索资料，大多认为XPS是可以表征的，请问XPS是否可以表征材料中的氧空位呢？
还有就是请大家帮忙看一下我的分峰结果是否正确。

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