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电镜

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2023/11/22

扫描电镜（SEM/EDS）

蔡司扫描电镜进行显微结构的表征分析时，往往出现非常严重的荷电现象，进而得到衬度异常、形变或样品漂移的失真图像。这是由于在扫描电镜中，当电子束源源不断的轰击到样品上时，入射电子的电流等于二次电子电流、背散射电子电流、样品接地电流和荷电电流的总和。【图片】　　对于导电性能好的样品，入射电子束产生的荷电电荷通过接地导走，不存在表面荷电现象。而对于导电性能不佳的样品，其接地电流几乎为零。

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