仪器信息网APP
选仪器、听讲座、看资讯
立即体验
APP内打开
回版面
评论
收藏
点赞
拍砖
举报
取消
发布
当前位置:
仪器社区
>
特色服务
>
事件聚焦
>
帖子详情
北方华创国产12英寸HDPCVD设备进入客户生产线
Insm_68f50e17
2024/04/14
私聊
事件聚焦
近日,由北方华创自主研发的12英寸高密度等离子体化学
气相
沉积(HDPCVD)设备Orion Proxima正式进入客户端验证。这标志着北方华创在绝缘介质填充工艺技术上实现了新的突破,也为北方华创进军12英寸介质薄膜设备领域,打开百亿级市场迈出了坚实的一步。
集成电路领域高速发展,对芯片制造工艺提出了更具挑战的要求,其中就包括如何用绝缘介质在各个薄膜层[1]之间进行均匀无孔的填充,以提供充分有效的隔离保护。为了满足以上需求,HDPCVD设备已经成为介质薄膜沉积工艺的重要设备。
[1]包括浅槽隔离(Shallow-Trench-Isolation,STI),金属前绝缘层(Pre-Metal-Dielectric,PMD),金属层间绝缘层(Inter-Metal-Dielectric,IMD)等。
据介绍,Orion Proxima作为北方华创推出的国产自研高密度等离子体化学
气相
沉积设备,主要应用于12英寸集成电路芯片的浅沟槽绝缘介质填充工艺。此款设备通过沉积-刻蚀-沉积的工艺方式可以有效完成对高深宽比沟槽间隔的绝缘介质填充,借助北方华创在刻蚀技术上的积累,发挥其高沉积速率、优异的填孔能力和低温下进行反应得到高致密的介质薄膜的优势,获得多家业内客户关注。
北方华创表示,现阶段,Orion Proxima技术性能在迭代升级中已达业界先进水平:通过灵活可控的软件系统调度优化与自主研发特有传输平台的结合,助力客户实现产能的大幅提升,取得双赢;通过提供不同的硬件配置方案,满足了包括填孔能力、膜层质量、颗粒控制等工艺需求的同时,更实现了对逻辑、存储及其他特色工艺领域客户的全覆盖。Orion Proxima HDPCVD通过优化机台结构,缩小了整机占地面积,节省了客户空间运营成本;通过优化排气管路设计,提高了清洗效率;通过优化开盖方式,缩减了人力维护开支,提高了设备生产效率。
[来源:仪器信息网] 未经授权不得转载
相关话题
1
市场爆发!多家企业获SiC仪器设备订单
2
JPM亮点:TOP企业如何看待2024年中国科学仪器市场?
3
市场爆发!多家企业获SiC仪器设备订单
4
国产碳化硅外延设备供应商纳设智能开启上市辅导
5
我国科学家实现无液氦极低温制冷基础研究突破
近期热榜
第6季 “仪器心得”有奖征文活动
【官方邀请】高效液相色谱使用情况有奖调研
喜迎国庆!第十七届原创大赛超级原创日参赛奖励翻倍
丹纳赫四十周年寄语征集领大礼包
热门活动
【售后专场--招聘会】
第三届微课大赛投票进行中ing
猜你喜欢
最新推荐
热门推荐
更多推荐
【资料】生化新技术(共2讲)
2009/10/30
全国团结起来建立PM2.5区域性联防联治机制
讨论
2012/03/05
国家发改委等部门:支持内蒙古绿色低碳 高质量发展若干政策措施的通知
分享
2024/04/08
国产碳化硅外延设备供应商纳设智能开启上市辅导
分享
2024/04/14
盛瀚获得发明专利一项
原创
2011/09/19
七部门发文推动制造业绿色化发展,科学仪器行业再迎利好
分享
2024/04/03
山西安排50.54亿元财政资金,保障“一泓清水入黄河”
分享
2024/03/25
河南省印发重大技术装备攻坚方案,将高端仪器仪表列为主攻方向
分享
2024/04/05
热立方空气能热水器全国售后服务24小时热线号码
原创
2024/07/25
安捷伦授予Jennifer Field教授“思想领袖奖” 表彰其在有机微量污染物和PFAS领域的开创性工作
分享
2024/04/22
盛奥华高校行|筑梦“绿水青山”,青春正当时
分享
2024/04/22
谱育:饮用水新国标涉及农药、消毒副产物等检测指标新增,首次纳入LC-MS/MS、GC-MS质谱法
分享
2024/04/22
应对新国标——生活饮用水中SVOCs的测定整体解决方案
分享
2024/04/22
油烟监测 城市餐饮油烟污染监管对策
分享
2024/04/22
合肥正在建噪声自动监测系统 设20个点位
分享
2024/04/22
应对新国标|固相萃取技术助力生活饮用水检测
分享
2024/04/22
实验室容量瓶、移液管等玻璃器皿检定
求助
2024/09/25
微量注射器用移液器检定规程出具证书,带CNAS logo,合理吗?
求助
2024/09/25
0.05%磷酸水流动相
求助
2024/09/22
粪大肠阴性对照 产气肠杆菌的测定
求助
2024/09/25
氟化物数据不稳定
求助
2024/09/25
关于气相基线高一倍求助
求助
2024/09/24
基线这种状况可能什么原因
求助
2024/09/21
标准溶液该如何配置?
第十七届原创
2024/09/25
从JPM2024看科学仪器市场机会——重点趋势关键词盘点
分享
2024/04/14
心态决定未来!
原创
2024/04/14
这风刮的厉害
原创
2024/04/14
沟通能力一流的人,只不过是掌握了这三招
分享
2024/04/14
天平称重时,为何要放在中间?不放中间误差有多大?
分享
2024/04/14
举报资料“CMA认证的要求和需要准备的东西”
2024/04/13
格局打开打开
原创
2024/04/13
又是周末到
原创
2024/04/13
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器(上海)有限公司(PerkinElmer)
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁
举报帖子
执行举报
点赞用户
好友列表
加载中...
正在为您切换请稍后...