感谢！冷却循环水机换了水，显示温度为17℃，压力为460KPa，似乎正常但问题仍然存在。另外不知道您说的配管上载有物品指的是哪里，应该如何排除。
JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:楼主，软件报错提示由于RF功率管过温导致等离子体熄灭，需要检查冷却水装置的水流量和温度。冷却不足时，点火后高频电源温度上升，导致安全装置启动，将对等离子体进行熄火。请确认是否由于配管上载有物品，冷却水量是否变少。此外，冷却循环水机供应冷却水时，冷却水的流量及温度可能会有变动。请稍微增加冷却水流量后再次点火。
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