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【我们不一YOUNG】MS真空系统由哪些部分组成？GCMS正常工作时的真空度是多少？
symmacros
2024/07/05
私聊
气质联用（GCMS）
MS
真空系统由哪些部分组成？
GCMS
正常工作时的真空度是多少？
MS
真空系统由哪些部分组成：
MS
真空系统主要由机械泵，高真空泵，真空管道，真空阀门，真空规，吸附肼以及控制部件组成。机械泵（提供初级真空，有油泵或干泵之分）主要把系统真空压力降到
0.1-0.01
托，它是高真空系统的前级泵。高真空泵把系统真空压力降到
10-5
–
10-6
托。一般为分子涡轮泵，也有少数使用油扩散泵。
GCMS
正常工作时的真空度一般为
10
的
-5
或者
-6
次方
torr
。
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