扫描电镜(SEM/EDS)
adu110
第1楼2007/09/05
楼主,试试看以SPS+硫酸,或SPS+HCL,来微蚀你的切片,这样,Cu layer与Ni layer就有比较明显的分界了 。备注:SPS 100g/L;硫酸约20ml/L;或者直接用双氧水来蚀刻铜层。
agzxp
第2楼2007/09/06
adu110:由于我是搞SEM的很少接触试剂,请问SPS是什么试剂?谢谢!
粒度销售
第5楼2007/09/06
你尝试用EDX或者其他的测量膜厚的仪器看看吧.应该精度还可以.
第6楼2007/09/06
不好意思,SPS是过硫酸钠,业界内的简称。
fxm4319
第7楼2007/09/06
建议用台阶仪,可以测到几个纳米的厚度,呵呵 那东西挺好使
jcha_1984
第8楼2007/09/06
应该有其他方法吧
jzhx68
第9楼2007/09/10
用背散射应该没有问题
第10楼2007/09/10
BSECu面分布Ni面分布
第11楼2007/09/10
第12楼2007/09/10
BSE
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