型号: | VF-3000 |
产地: | 日本 |
品牌: | 光洋 |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
请联系:张先生
VCSEL具有阈值电流低、工作波长稳定、光束质量好、易于一维和二维集成等优点,在光通信、激光显示、光存储、消费电子等领域得到了广泛应用。目前,850nm的VCSEL是短程局域网光纤通信系统的关键器件,用于短距离的数据通信;940nm的VCSEL在传感领域发挥着中流砥柱的作用,在消费电子中大放异彩;1310nm的VCSEL在高速长距离光纤通信、光识别系统及并行光互连系统中占据重要地位。此外,808nm的VCSEL在医美行业的应用也开始受到重视。
VCSEL主要有4种结构:氧化限制型、离子注入型、蚀刻台面型和掩埋异质结型。由于氧化限制型的电流限制效率最高,目前对其研究最多。其基本原是:外延生长一层AIAs的材料,在380~480 ℃ 的温度下,通过湿法氧化工艺,将其氧化成低折射率的绝缘A1xOy 氧化物,主要反应为
2AlAs+3H2O→+A1203+2AsH3
AlAs+3H2O→Al(OH)3+AsH3
A1xOy氧化物的高阻值对电流具有限制作用,低折射率对激光场具有导引作用,所以氧化限制层既起到了限制载流子又达到了调节腔长的目的。
我司代理的Koyo湿法氧化炉,具有温度均匀性高、水汽易于控制、氧化一致性好、晶圆全自动搬送、最多25片同时处理等特点,目前已成为VCSEL研发及量产的首选机台。
请联系
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询