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设备功能:采用砂轮向下进给式磨削,用于精密减薄晶圆,尽量减少背面损伤层。设备为带安全防护的全封闭式设备,带排气通道。基本配置包括:主轴单元,工作台,测厚单元,修轮单元,Z轴,冷却水循环罐,控制安全单元。
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