牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
牛津仪器Ionfab300刻蚀和沉积设备
普发真空APA污染管理解决系统
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该全自动化(自动取放片,自动贴膜和切割膜)设备用于在对6英寸和8英寸晶圆进行背面研磨之前通过对晶圆的正面贴膜处理进行保护。该设备能同时处理UV膜和非UV膜。
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