全自动双腔快速退火炉RTP,晶圆快速退火炉
晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6
半自动快速退火炉RTP-快速热工艺设备RTP-SA-12
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通过搭载 OPTSWING 系统,实现高速扫描提高产能。 小片到 8inch 晶圆均可对应。 搭载 Top-hat Beam,确保界面内温度的均一性。 通过温度模拟技术,优化退火条件。 各种监控机能完备(氧气浓度,Beam 形状等)
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