Park NX-Hybrid WLI
半导体晶圆PL光谱测试系统
请联系:张先生
GWS-晶圆外延缺陷检测系统
从操作员的目视检查到检测设备的自动化
1) 超越目视检查水平的检测性能
2) 缺陷位置的可视化以及缺陷图像可存储化
3) 可对应OHT 和 MES
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