分辨率
高真空(二次电子)
低真空(背散射电子) | 3.0nm(30kV),8.0nm(3kV)/ 选配 六硼化镧 2.0nm(30kV),5.0nm(3kV) / | 工作真空
低真空 |
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| | 电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 | | 放大倍率 | 1x-1,000,000x | | 加速电压 | 200V至30KV | | 电子枪 | 钨灯丝/六硼化镧 | | 探针电流 | 1pA至2μA | | 扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整 | | 聚焦窗口 | 形状、尺寸和位置连续可调 | | 扫描特性 | 动态聚焦，聚焦窗口，点和线扫描，倾斜校正，实时三维图像 | | 图象尺寸 | 最大可达8192×8192像素，图象比例可选1：1、4：3或2：1。 | | 显微镜控制 | 通过计算机（键盘、鼠标、轨迹球）操作VEGA
TC软件，所以显微镜的功能均可在WindowsTM平台下实现 | | 自动程序 | 实时电子束追踪优化，束斑直径优化放大倍数，聚焦&消象散，对比度&亮度，扫描速度（根据信噪比），灯丝饱和调整，电子枪对中，光阑&透镜对中，真空控制，加速电压的补偿，灰度等级调整 | | 远程控制 | 通过TCP/IP |
| | 样品室 | | 内部尺寸 | 285mm宽×340mm深 | | 门宽 | 285mm宽×320mm高 | | 接口数量 | 12+ | | 样品室减振方式 | 气垫（可选配内置主动式电磁减振） |
+ 可根据客户需求调整接口数量和位置。 |
| | 样品载台 | | 类型 | 全电脑化优中心 |
移动范围 | X=130mm —— 马达驱动 Y=130mm ——马达驱动 Z=100mm —— 马达驱动 旋转：360°连续可调——马达驱动 倾斜：-30°到+90°——马达驱动 | | 样品高度 | 最大145mm |
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| | 软件 | | 测量软件 | | 定位软件 | | 图象处理 | | 三维扫描 | | 硬度测量 | | 多图校正 | | 投影面积 | | 打印放大倍率 | | 关机定时器 | | 公差测量 |
| | 形态学 | | 颗粒度分析 | | 自动抓图 | | 图象观测 | | 电子束写入 | | 鼠标连接 |
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| | ●标配 ○选配 |
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