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- 激光曲率法/ Stoney公式计算内应力
- 10MPa——50GPa
- 0.5——50m
- ≤3%
- ≤2%
- X方向：30mm；Y方向：100mm
- Min. 0.1mm
- 可计算校正原始表面不平直影响（对减模式）
- 2D/3D表面轮廓、曲率半径、薄膜应力等
- 220 VAC，Max. 500W
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜内应力。
-
光电/MEMS/半导体薄膜应力表征解决方案半导体 2021-06-02
典型用户
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 烟台中科先进材料与绿色化工产业技术研究院 | 2021-11-10 |
| 广东科学院新材料研究所 | 2021-09-09 |
| 广东华升真空技术有限公司 | 2020-09-11 |
| 株洲钻石切削刀具股份有限公司 | 2020-06-09 |
| 中国科学院兰州化学物理研究所青岛研究中心 | 2020-05-21 |
| 酒泉职业技术学院 | 2020-03-09 |
| 上海理工大学 | 2018-09-10 |
| 南京理工大学 | 2018-06-15 |
| 瑞声集团AAC | 2018-05-22 |
| 金轮坤天机械有限公司 | 2018-04-19 |
| 湛江师范学院 | 2018-03-09 |
| 厦门大学 | 2016-12-20 |
| 富士康集团 | 2016-11-02 |
| 中国科学院深圳先进技术研究院 | 2016-10-14 |
| 重庆理工大学 | 2016-09-21 |
| 中国科学院兰州化学物理研究所 | 2016-05-10 |
| 天津职业技术师范大学 | 2015-09-30 |
| 中国科学院金属研究所 | 2014-08-21 |
| 广西大学 | 2014-04-17 |
| 广东工业大学 | 2013-12-10 |
| 深圳信息职业技术学院 | 2013-11-25 |
售后服务
1年
是
有
5人次以内培训
6个月一次
免费维修更换零件
24小时到达现场并维修
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