键对准

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品牌

EVG

型号

键对准

产地

欧洲奥地利

应用领域

暂无

营业执照已认证

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产品详情

用于晶圆间对准的自动键合对准系统，用于研究和试生产

EVG620键合对准系统以其高度的自动化和可靠性而闻名，专为最大150 mm晶片尺寸的晶片间对准而设计。

EV Group的键合对准系统具有最高的精度，灵活性和易用性，以及模块化升级功能，并且已经在众多高通量生产环境中进行了认证。 EVG的键对准系统的精度可满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中最苛刻的对准过程。

基于Windows®的用户界面

在不同晶圆尺寸和不同键合应用之间快速更换工具

选件

自动对齐

红外对准，用于内部基板键对准

NanoAlign®封装可增强处理能力

可与系统机架一起使用

面罩对准器的升级可能性

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：是

现场技术咨询：有

免费培训：技术人员现场培训

免费仪器保养： 2个月1次

保内维修承诺：软件免费重装，硬件维修

报修承诺： 24小时到达

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