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一、产品简介
CIF推出全新一代实验室型等离子体清洗设备，颠覆传统等离子体清洗设备设计理念，可中试生产、模拟生产条件，几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓，上开盖下压式铰链开关方式，上置式360度自由取放样品托盘设计，具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
二、产品特点
1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
3. 石英真空仓，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
4. 采用质量流量计实现对气体输入精准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
5. HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
6. 60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
7. 顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。
8. 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
9. 上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
10. 有效清洗面积大，可清洗最大直径8寸硅片。
11. 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。
12. 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
三、技术参数
型号 | CPC-G | CPC-G plus | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ270mm | H120xΦ270mm | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 6.8L | 6.8L | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 | 自动匹配 |
激发方式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 电容式 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-150W可调 | 10-600W可调 | 10-300W可调 |
最大处理尺寸 | Φ270mm 圆盘 | Φ370mm圆盘 | ||
产品尺寸 | L525xW425xH345mm | L618xW520xH465mm | ||
包装尺寸 | L645xW540xH560mm | L750xW640xH570mm | ||
气体控制 | 质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路） | |||
时间设定 | 1-99分59秒 | |||
真空泵 | 抽速4-8m3/h | |||
气体稳定时间 | 1分钟 | |||
真空度 | 100pa以内 | |||
电 源 | AC220V 50-60Hz | |||
60天
1年
安装调试现场免费培训
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