Canon FPA5000 ES3
Canon FPA5000 ES3扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.18µm
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标
分辨率 | 0.18µm |
N.A. | 0.6-0.73 |
曝光光源 | 248nm |
倍率 | 4:1 |
最大曝光现场 | 26mm*33mm |
对准精度 | 35nm |
更多服务
提供中英文软件及6"、 8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
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