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Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供更高的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 尽可能的清除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响真空泵是半导体加工厂中应用广泛的设备之一. 真空泵对于在真空环境操作下的各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.灾难性故障电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如 NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 沉积导致干泵卡死以及干泵部件的腐蚀退化. 干泵故障通常会对 10片甚至 100片在加工中的晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线良率.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和质量 (分压), 可以对破坏性腐蚀或沉积物堆积进行建模. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以较准确的预测干泵的预期运行寿命.在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到 1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量! Atonarp 质谱由统一的软件平台, 光学和质谱技术的突破性创新提供支持, 可提供实时, 可操作, 全面的分子谱分析数据.Atonarp Aston™ 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测: CVD Monitoring4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

冻干机是将含水物品预先冻结，然后将其水分在真空状态下升华而获得干燥物品的一种技术方法。经冷冻干燥处理的物品易于长期保存，真空冷冻干燥机加水后能恢复到冻干前的状态并保持原由的生化特性。对于热敏物质如抗菌素、疫苗、血液制品、酶激素和其它生物制品，冷冻干燥技术更能显示其优越性。 FD 真空冷冻干燥机系列冷冻干燥机采用风冷冷凝式制冷系统，冷阱可作预冻，不锈钢结构，透明干燥室，便于观察冷冻干燥的全过程。 冻干机是将含水物品预先冻结，然后将其水分在真空状态下升华而获得干燥物品的一种技术方法。经冷冻干燥处理的物品易于长期保存，加水后能恢复到冻干前的状态并保持原由的生化特性。对于热敏物质如抗菌素、疫苗、血液制品、酶激素和其它生物制品，冷冻干燥技术更能显示其优越性。 TF-FD-1L 系列为立式超低温冷冻干燥机，适用于实验室样品冻干或小型生产。采用了双压缩机复叠制冷，冷凝温度为 -80℃，少量样品可直接在冷阱内预冻。该冻干机拥有更大的冷阱容积和更低的冷阱温度，可获得更高的凝冰效率，对于挥发性较强的溶剂具有更强的捕获能力，因此适用的范围更加广泛，可用于含有机溶剂的样品冻干。 TF-FD-1PF 冷冻干燥机是一种小型立式冷冻干燥设备，适合于实验室样品冻干实验及少量生产。 TF-FD-18 是一种中型立式冷冻干燥设备，适合于实验室样品的冻干试验及少量生产。冻干装置可选：普通型、压盖型，多歧管普通型、多歧管压盖型。 TF-FD-18S 为带冻干曲线的立式冷冻干燥机，具备层板加热功能，采用电加热为制品提供热量，可预设层板升温曲线，实现升华。【冻干机简介】 冻干机（lyophilizer或freeze dryer）起源于19世纪20年代的真空冷冻干燥技术经历了几十年的起伏和徘徊后，在最后的20年中取得了长足进展。进入21世纪，真空冻干技术凭借其它干燥方法无法比拟的优点，越来越受到人们的青睐，除了在医药、生物制品、食品、血液制品、活性物质领域得到广泛应用外，其应用规模和领域还在不断扩大中。为此，真空冷冻干燥必将成为21世纪的重要应用技术。 【冻干机优点】 干燥的方法多种多样，如晒干、煮干、烘干、喷雾干燥和真空干燥等,但普通干燥方法通常都在0℃以上或更高的温度下进行。干燥所得的产品一般都存在体积缩小、质地变硬的问题，易挥发的成分大部分会损失掉，一些热敏性的物质发生变性、失活，有些物质甚至发生了氧化。因此，干燥后的产品与干燥前相比，在性状上有很大的差别。 　冻干法则基本上在0℃以下进行，即在产品冻结的状态下进行，解析干燥的时候一般不超过60℃。在真空条件下，当水蒸汽直接升华出来后，药物剩留在冻结时的冰架中，形成类似海绵状疏松多孔架构，因此它干燥后体积大小几乎不变。再次使用前，只要加入注射用水，又会立即溶解。 1.1 型 号 TF-FD-1PF（多歧管普通型）1.2 冷凝温度 ＜-50℃1.3 真 空 度 ＜15Pa（空载）1.4 冻干面积 0.12㎡1.5 捕水能力 3Kg/24h1.6 样 品 盘 Φ200mm×4层1.7 电源要求 220V 50Hz 1.8 功 率 1100W1.9 茄 形 瓶 50ml,100ml,250ml,500ml,1000ml可选8只 冻干机是一种国际流行的结构形式； 1.触摸屏液晶显示，曲线和数据的方式显示干燥过程，PID只能调节，方便用户更具数据变化了解更更多信息。 2.复叠制冷技术，较少冷冻干燥时间，进口品牌保障，减小噪音、大制冷量、大捕水能力。高质量保证高性能。 3.内设观察窗，干燥过程直观。采用原位预冻，实现了从真空到干燥的全部自动化，减少干燥过程的繁锁操作。 4.可选配温度记录仪。可调的温度记录点，实时监控，不用害怕遗忘，为您经验的积累增加保障。 5.冷冻内部全304不锈钢，防腐蚀易清洁，经久耐用。 6.硅油冷冻介质，误差≤1℃，干燥效果均匀。 7.配置充气阀，可充干燥惰性气体； 8.可选配共晶点测试装置，可选配自动压塞装置； 9.方形搁板不易变形，易于操作，便于清洗。干燥室采用高透光无色透明有机玻璃门，在操作过程中能清晰观察物料的变化过程。 真空冷冻干燥技术在生物工程、医药、食品工业、材料科学和农副产品深加工等领域有着广泛的应用。 　药品冷冻干燥包括西药和中药两部分。西药冷冻干燥在国内已经得到了一定的发展，很多较大型的制药厂都有冷冻干燥设备。 在针剂方面，冷冻干燥工艺采用的比较多，提高了药品质量和贮存期限，给医患双方都带来了利益。 在中药方面，目前还只局限在人参、鹿茸、山药、冬虫夏草等少量中药材的冻干。 在生物技术产品领域，冻干技术主要用于血清、血浆、疫苗、酶、抗生素、激素等药品的生产；生物化学的检查药品、免疫学及细菌学的检查药品；血液、细菌、动脉、骨骼、皮肤、角膜、神经组织及各种器官长期保存等。实验型冻干机参数列表：td bgcolor="#ffffff" valign="center" width="130" style="font-size: 12px line-height: 1.5 font-family: Verdana, Arial, Helvetica, sa序号型号冷凝温度真 空 度冻干面积捕水能力功 率1TF-FD-1压盖型＜-50℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h 1100W2TF-FD-1普通型＜-50℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1100W3TF-FD-1多歧管普通型＜-50℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1100W4TF-FD-1多歧管压盖型＜-50℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h1100W5TF-FD-1PF压盖型＜-55℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h1100W6TF-FD-1PF普通型＜-50℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1100W7TF-FD-1PF多歧管压盖型＜-50℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h1100W8TF-FD-1PF多歧管普通型＜-55℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1100W9TF-FD-1SL普通型＜-80℃＜15Pa（空载）0.12㎡8Kg/24h2200W10TF-FD-1SL压盖型＜-80℃＜15Pa（空载）0.07㎡8Kg/24h2200W11TF-FD-1L压盖型＜-80℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h1600W12TF-FD-1L普通型＜-80℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1600W13TF-FD-1L多歧管压盖型＜-80℃＜15Pa（空载）0.07㎡3Kg/24h1600W14TF-FD-1L多歧管普通型＜-80℃＜15Pa（空载）0.12㎡3Kg/24h1600W15TF-FD-18S多歧管普通型＜-60℃＜15Pa（空载）0.18㎡6Kg/24h1700W16TF-FD-18S多歧管压盖型＜-60℃＜15Pa（空载）0.11㎡6Kg/24h1700W17TF-FD-18S压盖型＜-60℃＜15Pa（空载）0.11㎡6Kg/24h1700W18TF-FD-18S普通型＜-60℃＜15Pa（空载）0.18㎡6Kg/24h1700W19

产品应用：● 上海沪析HUXI干式氮吹仪MD200-1主要应用于大批量样品的浓缩制备，如药物筛选、激素分析、液相、气相及质谱分析中的样品制备。工作原理：通过将氮气吹入加热样品的表面，使样品中的溶剂快速蒸发、分离，从而达到样品无氧浓缩的目的，保持样品更纯净。使用氮吹仪代替常用的旋转蒸发仪进行浓缩，能同时浓缩几十个样品，使样品制备时间大为缩短，并且具有省时，易操作，快捷的特点主要特征：● 每条吹扫针可独立控制，有12个气道控制开关，不浪费气体。● 加热器使样品被快速有效地加热至蒸发温度,同时气体由气体腔经气针吹至溶液表面,促进溶液快速蒸发和样品浓缩。● 整个工作系统由可调节的气体腔和加热器组成。● 气针在气腔的位置可被改变,使之适用不同的试管.标准气针长度为150mm。● 气腔高度可根据溶剂液面高度调节,在浓缩有毒溶剂时,整个系统可置于通风柜中。● 自动故障检测及报警功能。● 标准配备气腔和专用可调节支架。● 内置超温保护装置。● 即时温度显示、时间递减显示。产品参数：型号MD200-1温度范围RT+5℃~150℃升温时间≤15min（20℃ to 100℃)时间设定1min-100h显示精度0.1℃温度稳定性@40℃±0.3℃样品处理量1个标准模块屏幕显示LCD液晶显示（5段程序可控制）氮气流量0~10L/min氮气压力≤0.1MPa气针长度150mm尺寸330×200×540（mm）净重6.5kg电源AC220V,50Hz最大功率200W标配模块12孔*16.5mm可选配模块HX06,HX07,HX08,HX09,HX18,HX19,HX20