为吹是不是小了些呢,我都是20ml的流量
建议用皂抹流量计测试一下,看是不是流露堵住了
PS:点火的你用打火机也行,当然换也可以,不贵
laidekeai 发表:FID上有三路气:H2,makeup gas,Air。
我在工作站上设定H2流量为20ml/min,makeup gas为4ml/min,但是Air的出了问题,我没有设定的时候,工作站就显示实际流量为190ml/min左右,但是我实际测了下,却没有流量,当我在工作站上把Air流量加大到600ml/min时(显示实际流量也是600ml/min),测了下实际流量只有70ml/min左右,我很晕,是不是EPC的PC板出了问题啊?或是Air管道堵了?
顺便问下,FID的点火线圈自己能换吗?备件贵吗?价位多少啊?