扫描电镜（SEM/EDS）
小M
第1楼2011/06/15
是nA 纳安
gyaxz2009
第2楼2011/06/15
没有单位，数值越大束斑越大，分辨率越低。对吗？
golf
第3楼2011/06/15
没有单位是因为你的电镜没有配电流表，所以读不出来样品电流。这个很多厂家都不是标配。好像也有的厂家是数值越小束斑越大的。
fengyonghe
第4楼2011/06/15
spotsize是束斑直径，1pA--300nA是束流。
驰奔
第5楼2011/06/16
spot size 是束斑尺寸，一般特指最终电子束探针交叉斑直径，但操作上是通过调节聚光镜激励实现的，一般扫描电镜操作软件上spot size调节范围含义是聚光镜激励的调节范围的数值化，这个数值是线性的或者非线性的，这个要通过计算来和最终探针直径相关联，有的关联？ 大多数不直接关联，只不过告诉操作者一个趋势。
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