X射线衍射仪(XRD)
lp1113
第1楼2008/06/19
你可以尝试做掠入射,它是一种特殊的XRD分析,主要用来分析薄膜样品的.
feixiong5134
第2楼2008/06/19
30nm深度太浅你必须用表面的表征仪器比如说XPS等等
dieece
第3楼2008/06/21
XPS能不能够鉴定出具体的相?比如说x-Al2O3和r-Al2O3?
第4楼2008/06/22
Al2O3受环境的影响很大这个好像不行你可以看看文章呵呵
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