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【求助】EPMA 无法抽真空 （急）

  • 蓝色月夜
    2008/07/11
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 今天操作的时候，epma真空怎么都不能抽到0.001pa 在没有达到真空要求下打开样品室换的样品，现在样品也无法推入样品台处了。怎样使样品正常进入呢？
    向各位前辈求救！
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    +关注 私聊

  • huangtao0307

    第1楼2008/07/11

    這還真沒碰到過﹖期待高手出現

0
    +关注 私聊

  • 春天的桃子

    第2楼2008/07/11

    可能是室内的湿度和温度不能达到开机的要求.或者你的样品本身有气孔,很难抽到真空

0
    +关注 私聊

  • 蓝色月夜

    第3楼2008/07/11

    下午打电话问了下维修工程师，手动放气到大气状态就ok了，仍感谢大家的支持！

    peng1220 发表:今天操作的时候，epma真空怎么都不能抽到0.001pa 在没有达到真空要求下打开样品室换的样品，现在样品也无法推入样品台处了。怎样使样品正常进入呢？
    向各位前辈求救！

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