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[讨论]EDX谱中两个铜峰的高度比

ljiang8

2006/05/17

扫描电镜（SEM/EDS）

我在铜基体样品的两个相邻位置上分别打了选区EDX，发现铜的两个能量峰计数之比相差很大。
一个谱上Cu的高能峰( ~8KV)：低能峰（~0.9KV)之高度比约为2/3；
而另一个谱则为1/4。

这是为什么？和表面杂质厚度或形貌有关，还是和数据收集有关？请指教！谢谢

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毒菇九剑

第1楼2006/05/24

你说的选区是选点吗？
铜基体样品那就不是纯铜了样品如果不均匀铜的含量也不一样谱峰的比例应该也有波动吧

ljiang8 发表:我在铜基体样品的两个相邻位置上分别打了选区EDX，发现铜的两个能量峰计数之比相差很大。
一个谱上Cu的高能峰( ~8KV)：低能峰（~0.9KV)之高度比约为2/3；
而另一个谱则为1/4。

这是为什么？和表面杂质厚度或形貌有关，还是和数据收集有关？请指教！谢谢

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zemb

第2楼2006/05/30

样品是否平整、光洁？电子束的入射角度及X射线的出射角度对高、低峰的比例有影响。即与样品的形貌和倾斜（电子束入射点的倾斜度）有关。

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