透射电镜（TEM）
怪味陈皮
第1楼2008/08/05
做XPS比较合适。
蓝莓口香糖
第2楼2008/08/05
分析不是大问题。关键是怎么制样。先制杨再腐蚀，还是先腐蚀在制样？怎么把那个薄层保留下来？好难呀。
daxu
第3楼2008/08/05
如果做xps的话，测出的元素含量能代表薄层的么？
wunderfool
第4楼2008/08/06
如果做xps的话，测出的元素含量能代表薄层的么？[/quote]是啊，XPS测得的是表层几个纳米内的信息。俄歇电子能谱（AES）也可以的。
guanpeng
第5楼2008/10/08
asassasa
wyxyy
第6楼2008/10/10
因为是做表面的元素分析，不同的仪器的表面分析深度是不一样的。XPS分析的样品的表面深度比俄歇电子能谱的要深。你或许可以先用俄歇电子能谱分析一下，再用离子减薄打掉点，再分析试试。不过俄歇电子能谱更适用于轻元素。
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