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【讨论】EDX和SEM中电致冷探测器的比较

白水山石

2008/08/28

扫描电镜（SEM/EDS）

EDX和SEM中都有用电致冷探测器的,但两者在能量分辨率上不同.可能是本人知识面有限,据我所知(都是从咱们的论坛上了解的),EDX所用电致冷探测器的分辨率为150EV左右,而SEM中所用的探测器的分辨率为115EV,这两种探测器分辨率不同的主要原因是什么?结构上的还是原理上的?

谢谢大家的指教

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golf

第1楼2008/08/29

实在不明白你在说什么

0

panhm

第2楼2008/09/02

我们就是这样的

0

半个网客

第3楼2008/09/02

SEM探测器有“电致冷”的吗？指的是SEM电路板冷却吧！

0

德国工兵

第4楼2008/09/29

明白楼主的意思了：
楼主所说的EDX用的SDD探测器是指能量色散型XRF中所用的SDD探测器，分辨率在150~160eV左右.
楼主所说的SEM中的SDD探测器也就是本论坛的能谱探测器，分辨率最好可达123eV.
不知道对否？
两种探测器分辨率不一样主要是因为两种SDD的特性不同，XRF上用的SDD主要特点就是速度快，对于分辨率的要求不是太高，因为XRF谱峰没有本底。
tianzhen 发表:EDX和SEM中都有用电致冷探测器的,但两者在能量分辨率上不同.可能是本人知识面有限,据我所知(都是从咱们的论坛上了解的),EDX所用电致冷探测器的分辨率为150EV左右,而SEM中所用的探测器的分辨率为115EV,这两种探测器分辨率不同的主要原因是什么?结构上的还是原理上的?

谢谢大家的指教

0

xcz111

第5楼2008/09/29

我不知道啊!

0

白水山石

第6楼2008/09/29

谢谢!我确实就是这个意思,特性不同能不能解释得详细一点.我只知道它们都是硅漂移探测器.还有一个问题就是这两种探测器铍窗的厚度有没有区别?
tao______ 发表:明白楼主的意思了：
楼主所说的EDX用的SDD探测器是指能量色散型XRF中所用的SDD探测器，分辨率在150~160eV左右.
楼主所说的SEM中的SDD探测器也就是本论坛的能谱探测器，分辨率最好可达123eV.
不知道对否？
两种探测器分辨率不一样主要是因为两种SDD的特性不同，XRF上用的SDD主要特点就是速度快，对于分辨率的要求不是太高，因为XRF谱峰没有本底。

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