【讨论】关于使用椭偏仪测量薄膜厚度、吸收系数、折射率存在的缺陷

没用过椭偏仪，胡乱评论一下：
1、椭偏仪适用于微米级的膜厚测量，200nm以下的薄膜可能不行；
2、对于强吸收性薄膜材料，理论上无法测量；
3、透明基体的材料原则上也可以测量，只要在薄膜/基体界面存在可探测的反射信号；
4、有机薄膜只要厚度在椭偏仪测量范围内，只要有反射信号，可以测量。

我们有椭偏仪,但不是我用,有些问题我略知一二
1.椭偏仪是利用材料对偏振光的反射来测定膜厚等参数的,所以基片不能透明,因此时没有反射光.
2.椭偏仪用的光是紫外光(有少量波长到z红外的),是不是有机物对紫外有吸收?
3.椭偏仪的数据处理非常复杂,就是因为这个原因我才没接,让别人去做了,但他根本就没学会
4.这一条我说不清楚.

非常感谢！
好像椭偏仪现在可以测量到1nm以下的厚度了。

非常感谢，您们提供的信息非常有用。
椭偏仪的光谱一般不超过1000nm 但是好像现在也有能达到2000多纳米的了，不知道对不对？
请高人指教！

一般在紫外光谱区,但国内肯定是有可测到红处区的,成都有一家,在一次国内的会议上我跟他们讨论过,好象到了2500nm了,但是什么单位我现在想不起来了.

http://www.jobinyvon.cn/Thin-Film/Core-Technologies
可以到这个网站了解,了解!

楼上诸位真英雄，讨论如此热烈，可见椭偏的应用渐渐广泛了。
我来说上几点：
1.椭偏仪的原理，决定了他可以用来测量非常薄的膜层厚度，理论上可以到1nm以下（因为实际上这么薄的膜非常少），厚可以至几十微米，故应用范围还是很宽的；
2.椭偏仪测量，需要有各个界面的光反射至接受的椭偏臂，故不透光的膜层是无法测量的，有部分吸收和透明的膜都可以测，透明基底测量的困难在于基底背面的反射光的干扰，可以采用背面涂黑或其他方法，实现测量，并不难；
3.有机薄膜也是可以测量的，关键在于建立准确的模型，现在的椭偏仪都配有丰富的数据库和模型库，软件界面也非常友好，故有机膜的测量不难；
4.折射率和吸收吸收也可以测量，不过结果不是直接得到的，需要模型计算出来。
如有问题，请随时联系，谢谢！

希望对大家有用！这两天也在看这个东西，呵呵：）我们用TPY-2 天津拓普的国产设备，目前在调试。希望大家可以多讨论。

椭偏仪的原理和应用.pdf