【求助】为什么机械泵周围会有油

你说的原因是一方面，还有一个就是泵油在机械泵运转的时候可能从口渗出来

你的意思是不管泵油多还是少都有渗出的可能？一直没搞明白就地上的一个机械泵就能维持离子源区、离子传输区和检测区的真空状态么，那些分子涡轮泵是怎么工作的？是靠的电运转的么？

这种情况我也遇到过,我用的也是TSQ.
1、检查软件显示的前极真空度，看是在1左右吗？这个值我记的不清了。真空不够说明源位置漏气，或者听下源位置是否有漏气的声音，很明显的。这种情况会导致滤油器超负荷，大量漏油。
解决：重新安装源，注意密封圈的安装。
2、观察泵的滤油器是否积油，如果是，注意疏通滤油器的回流管。
3、如果没有发现明显漏油，那是油蒸汽的自然冷凝，是正常并且避免不了的。