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【求助】四氟化硅的分析

气相色谱（GC）

  • 恳求高手赐教，如何分析四氟化硅气体以及其中的各个杂质（氧气，二氧化碳，氯化氢，氟化氢等），要求精确到ppm级别
    联系信箱：jxfgh@sina.com
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    +关注 私聊

  • byfx7456

    第1楼2008/10/13

    高灵敏度热导吧，系统一定要干净！

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  • 独钓寒江雪

    第2楼2008/10/15

    可以用氦放电离子化仪器，用带切割的气路流程完成上述组分的检测

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  • hejiahuan

    第3楼2009/10/16

    应助达人

    能不能说的再详细一点，急需要分析方法。

    hzhhqt 发表:可以用氦放电离子化仪器，用带切割的气路流程完成上述组分的检测

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